产品简介

双束电镜（FIB-SEM）是一款集成了电子束和离子束的电子显微镜系统。SEM镜筒提供高分辨成像能力，FIB镜筒能在成像的同时对样品进行加工处理。

产品特点

现代电子光学系统

•  Wide Field Optics™设计，利用中间镜 ( IML) 技术使扫描电镜具有多种操作和显示模式，如大视野模式、景深增强模式等；
• 实时电子束追踪技术(In-Flight Beam Tracing™)，可实现性能及电子束的优化，同时直接连续调节控制电子束参数；
• 全自动电子光学系统的设置与对中；
• 快速的图像采集速率，高达 20 ns；
• 应用 3D 电子束技术可实现实时立体成像观察，开启惊奇的 3D 体验及 3D 导航微纳之旅；

强大的 Xe 等离子源 FIB 镜筒

高电子回旋共振（High-ECR）产生的 Xe 等离子源 FIB 镜筒，可完成 Ga 离子源 FIB 在纳米工程领域不能完成的任务

• 溅射速率比 Ga 液态金属离子源快 50 倍；
• 离子束流范围：1 pA ~ 2 µA, 分辨率：< 25 nm；
• 新研发的高分辨率 Xe 等离子体 FIB 镜筒 （选配），分辨率优于15nm，进一步增强刻蚀能力；
• 大重量的 Xe 等离子具备更大的 FIB 电流范围，在无气体辅助增强的条件下也可实现超快溅射
• 相较于 Ga 液态金属离子源，离子注入效应显著减少；
• Xe 惰性气体原子不会改变图样区域附近的电学性能；
• 铣削过程中无金属间化合物形成。

应用