产品简介

双束电镜（FIB-SEM）是一款集成了电子束和离子束的电子显微镜系统。SEM镜筒提供高分辨成像能力，FIB镜筒能在成像的同时对样品进行加工处理。

GAIA3 是一款可以挑战纳米设计应用的理想平台，它同时具备高精度及微量分析能力。GAIA3 适用于高质量薄 TEM 样品制备、在技术节点减少流程、纳米构图或高分辨率的三维重构。

产品特点

Triglav™ - 新型高分辨率 ( UHR ) 电子光学镜筒

• TriLens™ 物镜系统：电子束无交叉模式与高分辨率物镜相结合
• 具有多个 SE 及 BSE 探测器的探测系统TriSE™ + TriBE™
• Triglav™ - 低加速电压下的高分辨率: 1 nm (1 kV ),0.7 nm (15 kV )
• EquiPower™ 进一步提高电子束的稳定性
• 电子束流高达 400 nA，并能实现电子束能量的快速改变
• 镜筒几何设计可容纳8”晶圆

Cobra FIB 镜筒

镓离子 FIB 镜筒，实现高精度纳米建模

• 探针电流：1 pA ~ 50 nA
• 分辨率：< 2.5 nm @ 30 kV （在 SEM 电子束与 FIB 离子束的重（叠）合点)
• Cobra 可保证在短时间内完成横断面处理及 TEM 样品制备
• 适合生物样品的 3D 微结构研究，如组织、完整的细胞等
• 低电压下性能，适合于刻蚀薄样品和减少非晶层

应用