产品简介

双束电镜（FIB-SEM）是一款集成了电子束和离子束的电子显微镜系统。SEM镜筒提供高分辨成像能力，FIB镜筒能在成像的同时对样品进行加工处理。

LYRA3 是一款集高分辨率 FE-SEM 镜筒和多功能的高性能 Ga 离子源 FIB 于一体的双束扫描电镜，是切割横断面、定位制备高质量TEM样品以及高分辨三维样品重构的选择。同时，大电子束流下的优异分辨率有利于 EDX、WDX、EBSD 等分析应用。LYRA3 满足了当今材料科学和工业的样品表征及微观分析需求。此外，LYRA3 适合电子束/离子束光刻、多层微电子器件的电路编辑。高通量、功能强大、易于使用的软件使得用户可以毫不费力地实现复杂的 FIB-SEM 应用操作，如三维重构、连续横断面切割、TEM样品制备以及相关的显微分析等。

产品特点

高性能电子光学系统

•  Wide Field Optics™ 设计，利用中间镜 ( IML) 技术使扫描电镜具有多种操作和显示模式，如大视野模式、景深增强模式等；
• 实时电子束追踪技术 (In-Flight Beam Tracing™),可实现性能及电子束的优化，同时直接连续调节控制电子束参数；
• 全自动电子光学系统的设置与对中；
• 快速图像采集速率；
• 应用 3D 电子束技术可实现实时立体成像观察，开启惊奇的 3D 体验及 3D 导航微纳之旅；

高性能离子光学系统

• 精密高性能 CANION 型 FIB 镜筒，实现快速切割样品横断面和制备 TEM 试样；
• 可选配高分辨率 COBRA 型 FIB 镜筒，它体现了现代成像分辨率和离子束试样加工精度的高水平。

应用