产品简介

双束电镜（FIB-SEM）是一款集成了电子束和离子束的电子显微镜系统。SEM镜筒提供高分辨成像能力，FIB镜筒能在成像的同时对样品进行加工处理。

TESCAN AMBER X 是结合了分析型等离子FIB和超高分辨（UHR）扫描电镜的综合分析平台，能够同时提供高效率、大面积样品刻蚀，多模态的样品表征，以及在无镓注入干扰状态下进行样品制备和改性。 TESCAN AMBER X 具备快速的等离子体FIB刻蚀和无漏磁高分辨SEM成像的特性; 高通量、多模态的FIB-SEM断层扫描，可快速获得三维重建图像和可视化数据; 元素化学和/或晶体取向研究; 无注入离子干扰状态下制备出微米和纳米结构，以便通过其它分析方法进行后续测试或表征等。

产品特点

iFIB+ 氙等离子FIB镜筒

离子束流可达1 μA， 可实现高刻蚀速率

分辨率 : < 15 nm

超大视野：1 mm @ 30 keV

压电驱动光阑变换器

BrightBeam™ 超高分辨SEM镜筒技术

无漏磁高分辨SEM镜筒可以最大程度实现各类样品的分析和表征

分辨率：1.5 nm @ 1kV

优化的镜筒内探测器系统，进一步提高了探测能力

光阑优化提升了分辨率，特别是在高束流下分辨率

最新的 Essence™ 电镜软件和用户界面

用户界面友好

可定制化的布局

应用