产品简介

双束电镜（FIB-SEM）是一款集成了电子束和离子束的电子显微镜系统。SEM镜筒提供高分辨成像能力，FIB镜筒能在成像的同时对样品进行加工处理。

TESCAN AMBER 配置了 BrightBeam™ 镜筒，真正的无磁场高分辨（UHR）可以实现各种分析，包括磁性样品的分析，以及在 FIB 操作时 SEM 的实时监测。另一方面， Orage™  FIB 镜筒配有先进的离子光学系统和气体注入系统，使得 TESCAN AMBER 成为了样品制备和纳米加工的仪器。

模块化、基于工作流的软件确保了在应用中都能进行操控，不需要在复杂的技术之间进行取舍，用户界面友好。

产品特点

 BrightBeam™SEM 镜筒技术，实现真正的高分辨（UHR）

 BrightBeam™SEM 镜筒，电磁-静电复合物镜，配置专利的 70°极靴 ；

无磁场高分辨成像，可以实现各种分析，包括对磁性样品的分析；

多种探测器，包括透镜内轴向探测器（In-Beam Axial detector ）以及多控制器，可选择不同角度和不同能量来收集信号，更好的表面灵敏度和对比度，可以看得更细致，观察更深入；

新型场发射肖特基电子枪的束流可达到 400 nA，同时可实现电子束能量的快速改变；

新一代电路系统可同时支持多达 8 个实时信号通道

EquiPower™ 透镜技术可实现高效的散热并保证电子镜筒的稳定性；

电子束减速技术（BDT）进一步加强了低电压下的分辨率，并能同时探测 SE 和 BSE 信号（选配）；

创新的 Orage™ Ga FIB 镜筒可完成纳米工程任务

创新的 Orage™ Ga FIB 镜筒保证离子分辨率，30 kV 分辨率优于 2.5 nm ，低电压可达 500 V；

低压样品制备能力可以快速制备无损薄 TEM 样品；

快速的 FIB 纳米重构技术，轻松了解样品的微观信息；

采用新型 OptiGIS 气体注入系统，可快速启动，沉积/蚀刻稳定性极好，一台仪器可安装6个 OptiGIS；

无漏磁 SEM 成像和高速 FIB 相结合，可以快速不间断地完成铣削/连续成像，适用于 TEM / 原子探针样品制备或 FIB-SEM 断层扫描。

应用