产品简介
扫描电子显微镜是一种众所周知的无损分析技术，它使用电子束分析样品表面，分析尺度可至纳米级。
VEGA3系列是钨灯丝扫描电子显微镜，可支持高 & 低真空环境操作，并为用户提供优势技术。如提高图像采集速度的高性能电子设备、静态和动态图像畸变补偿的超快扫描系统、用户自定义的应用程序脚本等。此外，由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵，因而可以快速简单地得到干净的真空样品室。
VEGA3 有四种样品室可供选择：SB、LM、XM 和 GM，样品室配备多种接口，为 EDS、WDS 和 EBSD 。
产品特点
四透镜大视野（Wide Field Optics™) 设计、中间镜（IML）电子束优化功能，并可提供多种工作模式和显示模式；
中间镜设计（IML），采用电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同连续可调的光阑；
结合了电子光学设计的实时电子束追踪技术（In-Flight Beam Tracing™) 可模拟和进行束斑优化；
无需机械对中的镜筒设计，使光路合轴和校准自动化；
可实现高通量、大面积自动化检测，如自动颗粒分布和分析；
配有经过计算机优化、马达驱动的全自动优中心样品台--compucentric stage;
有利于 EDS、WDS、EBSD 分析的理想几何设计，无畸变的 EBSD 工作模式；
强力涡沦分子泵和机械泵，可快速简单地得到干净的真空样品室；
全自动化显微镜设置，包括电子光学设置和对齐；
用于 SEM 操控、图像采集、归档、处理及分析的专业软件；支持多语言多用户环境；
网络操作和内置的远程控制/诊断功能；
采用 3D 电子束技术（3D Beam Technology ）可获得实时立体成像。
